长飞光纤获得发明专利授权:“一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法”

专利摘要:本发明涉及一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法,所述系统包括有沉积腔,沉积腔中安设有上、下旋转夹盘,对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯,上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连,沉积腔的一侧与进风腔相连通,沉积腔的另一侧与抽风腔相连通,其特征在于所述的喷灯包括有原料气体喷口和燃料气体喷口,在喷灯喷口的最外圈设置有气环喷口,所述的气环喷口与温度可调气源相连通。本发明气环喷口喷出气体形成筒状气帘,利用稳定气流的气帘取代喷灯前的罩子,可将沉积区域气体约束在气体环内,为二氧化硅的反应区提供稳定的气流场,保证整个沉积过程一致性。同时,通入气环的气体温度可随着沉积过程逐渐变化,使得沉积区域上下热场温度分布均匀,从而提高沉积质量。

今年以来长飞光纤新获得专利授权176个,较去年同期增加了7.32%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了3.68亿元,同比增14.87%。

长飞光纤获得发明专利授权:“一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法”

数据来源:企查查

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